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原廠進口ULVAC愛發科 標準羅茨泵 池田屋實業
特點
可直連羅茨泵（MBP）
使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。
標配熱傳感器
熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
用途
光學膜蒸鍍設備
反射器蒸鍍設備
裝飾用蒸鍍設備
薄膜卷繞蒸鍍設備
內嵌濺射設備
烘烤爐 /熱處理爐
凍干設備
檢漏設備
| 型號 *1 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | ||
| 最大排氣速度 | 50赫茲 | 280立方米/小時 （4670升/分鐘） | 500立方米/小時 （8330升/分鐘） | 1000立方米/小時 （16700升/分鐘） | 1500立方米/小時 （25000升/分鐘） | |
| 60赫茲 | 330立方米/小時 （5500升/分鐘） | 600立方米/小時 （10000升/分鐘） | 1200立方米/小時 （20000升/分鐘） | 1800立方米/小時 （30000升/分鐘） | ||
| 最大吸氣壓力 | 50赫茲 | 1.2×10 3帕 | 1.3×10 3帕 | 1.2×10 3帕 | ||
| 60赫茲 | 9.3×10 2帕 | 1.1×10 3帕 | 9.3×10 2帕 | |||
最大允許壓差 | 50赫茲 | 4.0×10 3帕 | 7.3×10 3帕 | 4.3×10 3帕 | ||
| 60赫茲 | 3.3×10 3帕 | 6.0×10 3帕 | 3.2×10 3帕 | |||
| 到達壓力 *2 | 4.0×10 -1帕 | 6.7×10 -1帕 | ||||
| 容許驅動壓力 | ～1.0 x 105 Pa（大氣壓開始型） | |||||
| 電機 *3 | 電機類型 | 密封三相感應電動機 | ||||
| 高效率等級 | ー | |||||
| 輸出 | 0.75 kW( 2極數 ) | 2.2 kW( 2極數 ) | 3.7 kW ( 2極數 ) | 5.5 kW( 2極數 ) | ||
| 電壓 (200V系統) | 50赫茲 | 200V | ||||
| 60赫茲 | 200/220伏 | |||||
| 液壓油 *4 | ULVOIL R-42 | |||||
| 油量 | 0.7 升 | 1.5 升 | 1.9 升 | |||
| 冷卻方式 | 水冷 | |||||
| 冷卻水 | 一次側壓力 | 0.3兆帕 | ||||
| 吸氣/排氣口壓差量 | 0.01 Mpa以上 | |||||
| 冷卻水量 | 2升/分鐘 | 3升/分鐘 | ||||
| 冷卻水溫 *5 | 5～30℃ | |||||
| 吸氣口 JIS-B-2290 | VF80 相當/ ISO80F 或ISO100F (可選) | VG100 相當/ ISO100F (可選) | VG150 相當/ ISO160F (可選) | |||
| 排氣口 JIS-B-2290 | VF80 相當/ ISO80F 或ISO100F (可選) | VF100 相當/ ISO100F (可選) | ||||
| 外直徑(尺寸) W×D×H *6 | 尺寸:296×575×260 毫米 | 356×619×320 毫米 | 406×759×340 毫米 | 406×989×340 毫米 | ||
| 重量 | 51公斤 | 86公斤 | 118公斤 | 150公斤 | ||
| 標準粗抽泵 | VD601 | VD901 | VS2401 | VS2401 | ||
| 符合規格 | - | |||||
| 標準附屬品 | 泵所需油量，使用說明書 | |||||
| 選配件 | 未經表面處理的泵，緊定法蘭，大氣壓啟動類型（逆變器), 合成油或氟油類型，潤滑腔排空口，不同電壓電機 | |||||
note)此目錄使用 SI單位系統。 使用非 SI單位制的轉換如下。
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 × 10-3 Torr
*1 標準模型帶有表面處理 (陽極氧化涂層)。 可選地，無需表面處理模型就可以選擇。
*2 用皮拉尼真空計測定。 (測量條件 : 標準后備泵和標準真空油。)
*3 不能選配安全增強型防爆型和耐壓防爆型法蘭電機。
*4 油選項：可選擇氟油（J25F）類型，請與我們聯系。
*5 在無結露的環境中使用。
*6 有關其他尺寸，請訪問ULVAC網站并參考發布的CAD數據。
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