進口ULVAC愛發(fā)科 PMB100D 通用羅茨泵

進口ULVAC愛發(fā)科 PMB100D 通用羅茨泵

 特點

可直連羅茨泵（MBP）

使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。

標配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。

內置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。

用途

光學膜蒸鍍設備

反射器蒸鍍設備

裝飾用蒸鍍設備

薄膜卷繞蒸鍍設備

內嵌濺射設備

烘烤爐 /熱處理爐

凍干設備

檢漏設備

規(guī)格

Note)此目錄使用 SI單位系統。 使用非 SI單位制的轉換如下。
　　4.0 x 10^-1 Pa = 3.0 × 10^-3 Torr
*1　標準產品沒有表面處理（陽極氧化涂層)。您也可以選擇表面處理作為選項。
*2　用皮拉尼真空計測定。 測量條件 : 標準后備泵和標準真空油。
　　( 使用 McLeod 真空計測量時約為 4.0×10^-2 Pa。)
*3　只有 PMB100D 可以選擇 200V級或多電壓的電動機。 不能使用防爆電動機的多電壓選擇。
*4　空冷式的使用油是R-72。還可選礦物油R-72、氟油J25F。
*5　通過選擇變頻器安裝型號，將能夠在整個壓力范圍內運行。
　　訂購變頻器規(guī)格時，請空冷或水冷規(guī)格。水冷逆變器無法進行空冷運行。
　　對于PMB600D，1200D和2400D，在300 Pa至4,000 Pa的壓力范圍內連續(xù)運行超過1小時可能會損壞泵。
　　在這種情況下，請選擇水冷規(guī)格。
*6　在無結露的環(huán)境中使用。
*7　有關其他尺寸，請訪問ULVAC網站并參考發(fā)布的CAD數據。