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簡要描述：ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀 提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
產(chǎn)品型號：全新廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-08-27訪 問 量：414ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
ULVAC愛發(fā)科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環(huán)境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
具有映射功能的自動平臺類型
高速測定：
的快照方法可實現(xiàn)高達20 ms的高速測量。
適用于可見光譜：
波長范圍可選標準類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。
緊湊型傳感器單元：
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的光學(xué)部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護。
豐富的產(chǎn)品陣容：
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛，包括如 的便攜類型，手動/自動平臺類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數(shù)的測量
| 型號 | 1500年 | 2000年 | 3000A | |
| 波長范圍 | 530～750nm、380～760nm（選擇） | |||
| 點直徑 | Φ1mm、Φ0.3mm（選擇） | |||
| 入射角度 | 70o固定 | |||
| 膜厚再現(xiàn)性 | 1σ = 0.1納米 | |||
| 膜厚范圍 | 1納米～2微米 | |||
| 測量時間 | 光接收：20ms至3000ms計算：300ms | |||
| 平臺 | Φ150mm自動 | Φ200mm自動 | Φ300mm自動 | |
| 自動測量 | 200點 | 200點 | 2,000點 | |
| 控制PC | 筆記本類型（帶操作/分析軟件） | |||
| 機器構(gòu)成 | 測量本體、控制器、操作PC（筆記本型）、使用說明書（CD） | |||
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