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ULVAC愛發科 SP1 真空計測量單元
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態確認等。
燈絲壽命通知功能：通過監測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級別最小的產品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規格和串行通信規格之外，還將增加EtherCAT規格
一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環境中，真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業真空設備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設備
真空防潮箱由真空泵制造商提供。
傳感器規格：如果需要壓力
·空白計劃降低
·控制板空間節省
·配線簡化
確定子更換眼睛
燈絲采用耐腐蝕材料鉑
其中一個使用的測量組件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用
可以輸出2個設定點
SP1：壓力為0至5 V輸出（非輸出）
電源電壓：24 VDC輸入
用于半導體?電子部件等各種制造設備的低真空領域的工藝控制
用于爐等各種工業設備的低真空領域的工藝控制
用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設備的低真空領域的工藝控制
| 類型 | 傳感器單元 |
| 模型 | SP1 |
| 兼容傳感器頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
準確性 | ±15 %（51帕～760帕） |
| ±30 %（10帕～1000帕） | |
| ±50 %（0.4帕～3000帕） | |
| 工作溫度范圍 | 10～40℃ |
| 測量值輸出 | 非線性輸出：0至5VDC（最大10V） |
| 設定點 1/2 壓力設定調整監視器 | 非線性輸出：0至5VDC（最大10V） |
| 控制輸出信號 | 開路集電極輸出，負邏輯 |
| 錯誤信號 | |
| 設定點 1/2 | |
| LED 顯示屏 | 電源、錯誤、設定點 1、設定點 2 |
| 電源電壓 | DC24V±2V, 90mA（最大） |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15P（M2.6螺絲） |
| 重量 | 190g /0.41lb（不包括傳感器頭） |
標準配件 | 輸入/輸出連接器 1個 |
| 快速手冊 1本 |
IO和模擬GND與電源GND不隔離。
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