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原裝ULVAC愛發科 渦輪分子泵UTM?MS 系列
特點
可直連羅茨泵（MBP）
使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。
標配熱傳感器
熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
用途
光學膜蒸鍍設備
反射器蒸鍍設備
裝飾用蒸鍍設備
薄膜卷繞蒸鍍設備
內嵌濺射設備
烘烤爐 /熱處理爐
凍干設備
檢漏設備
渦輪分子泵，帶有使用磁懸浮軸承的獨立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號陣容。控制器單元可以監控運行狀態并支持各種通信標準。
泵體和控制器分開。控制器可以監控運行狀態并支持各種通信標準。
自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統裝置的設計更靈活。
排氣速度300L/s～4000L/s的型號陣容。
分子泵轉速在25-100%范圍內可變。通過改變轉速在腔室中實現壓力調節。
高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗、急停測試等各種安全性確認試驗。
各種設備的主真空排氣系統
- 半導體制造設備
- 蒸鍍設備
- 濺射設備
- 研究開發設備
- 分析設備、實驗裝置等
主真空泵系統，用于不產生副反應生成物的輕工藝產線的真空系統。
其他的高真空排氣系統。
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 進氣口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 出水口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | ||
| 極限壓力*1 | 出色地 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 抽氣速度*2 | 氮氣 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 和 | 升/秒 | ー | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| 氫氣 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 壓縮率 | 氮氣 | 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 8× 104 | |||||||||
| 氫氣 | 1× 104 | 4×10 3 | ||||||||
| 最大入口壓力*3 | 出色地 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口壓力*3 | 出色地 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 轉速 | 轉速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動時間 | 5分鐘或更短 | |||||||||
| 安裝位置 | 朝任意方向 | |||||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
| 冷卻水 | 流速 | 升/分鐘 | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー |
| 壓力 | 兆帕G | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | |
| 噪音 | 分貝(聲級) | 60 | ||||||||
| 重量 | 公斤 | 14 | 33 | 三十二 | ||||||
| 推薦前級泵 | 200L/略多 | 500L/略多 | ||||||||
| 控制器 | 作品 | 分離型 | ||||||||
| 輸入電功率 | 單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz） | |||||||||
| 最大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| 速度變化 | 轉速在額定轉速的25%~100%之間可調（設定為0.1%） | |||||||||
| 溝通 | 接觸 | |||||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | ||||||||
| 模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 進氣口 | VG200 / ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 出水口 | KF40 | ||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||||||
| 極限壓力*1 | 出色地 | 10 -7 | |||||
| 抽氣速度*2 | 氮氣 | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 和 | 升/秒 | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| 氫氣 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 壓縮率 | 氮氣 | 6×10 8 | 1×10 9 | ||||
| 他 | 1× 104 | 7×10 4 | 1×10 5 | 3× 104 | |||
| 氫氣 | 1× 103 | 3×10 3 | 6×10 3 | 2× 103 | |||
| 最大入口壓力*3 | 出色地 | 133 | 40 | ||||
| 最大出口壓力*3 | 出色地 | 270 | 270 | ||||
| 轉速 | 轉速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 啟動時間 | 7分鐘或更短 | 11分鐘或更短 | 12分鐘或更短 | 18分鐘或更短 | |||
| 安裝位置 | 朝任意方向 | ||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | ||||||
| 冷卻水 | 流速 | 升/分鐘 | 1～3 | 2～4 | |||
| 壓力 | 兆帕G | 02～0.5 | |||||
| 噪音 | 分貝(聲級) | 60 | 57 | 60 | |||
| 重量 | 公斤 | 三十九 | 四十二 | 70 | 84 | 105 | |
| 推薦前級泵 | 600L/略多 | 1300L/略多 | 1500L/略多 | ||||
| 控制器 | 作品 | 分離型 | |||||
| 輸入電功率 | 單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz） | ||||||
| 最大功率 | 1.0 | 1.5 | |||||
| 速度變化 | 轉速在額定轉速的25%~100%之間可調（設定為0.1%） | ||||||
| 溝通 | 接觸 | ||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | |||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | |||||
*1：表示位數。
*2：無防護網。
*3：最大入口壓力和最大出口壓力不能同時滿足。
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