日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結構的干泵GR系列

簡要描述：日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結構的干泵GR系列
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

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詳情介紹

日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結構的干泵GR系列

特點

通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。

采用ULVAC 設計的底座軸，實現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

目的

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

規(guī)格

*1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為5.0 SLM時的值。
*2 不結露。
*3 通過調節(jié)器調節(jié)壓力計值。
*4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為5.0SLM。