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新款ULVAC愛發科 螺桿型干式真空泵 MS1200A
特點
通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。
采用ULVAC 設計的底座軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
目的
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
| 型式 | （C：C式樣） （L：L式樣） | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | ||||
| C | L | C | L | C | L | C | L | ||
| 最大排氣速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | ||||
| 到達壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | ||||||
| 電源電壓 | 200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V | ||||||||
| 消費電力 概略值 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 |
| 冷卻水量 | L/min | >2.0 | >4.0 | ||||||
| Purge gas 量 *2 | SLM | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 |
| 最大水蒸氣 處理量 *3 | kg/h | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 |
| 噪音值*1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | ||||
| 吸氣口 | KF50(水平)／ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |||||
| 排氣口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |||||
| 質量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | ||||
| 適用規格 | CE、cTUVus | ||||||||
| 標準附屬品 | 電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護器 | ||||||||
| 本體選配件 | 電源電壓：200V級或400V級、密封部材質：全氟彈性體(僅用于L型) | ||||||||
| 外部選配件 | MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、 Gas purge | ||||||||
*1：到達壓力時
*2：C式樣不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應無漏
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