原廠HORIBA堀場 超薄質量流量模塊

原廠HORIBA堀場 超薄質量流量模塊

可對調諧氣體等低流量氣體進行精密控制。

100毫秒或更短的高速響應，減少了MFC之間的機器差異，

提高了生產率并提高了工藝性能。

流量測量的內部生產

所有制造的產品都表現出高可靠性。

狀態監控功能

提供更多內部數據并實現更智能的故障預測。

PFA 閥門具有出色的閥門關閉和耐腐蝕性能

減少停機時間并優化產量。

數字質量流量控制器型號，配備多范圍/多氣體功能，允許用戶更改氣體類型和流量范圍。

實現±1.0%SP的高精度、全量程1秒內高速響應、5SCCM～500SLM的寬量程。通訊方式可以從數字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通訊中選擇。該質量流量控制器不僅適用于先進工藝，而且適用于各種制造工藝。

多量程/多氣體兼容。

氣體類型和滿量程流量可在用戶側更改。通過減少備件數量，有助于降低成本。

從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制

保證高精度

±1.0% SP（設定點）

1秒內高速響應

全量程（T98）

尺寸緊湊，

可選擇的通信方式

陣容：數字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通訊方式    驅動電源    產品型號

數字通訊

可滾動的

寬廣的流量控制范圍，從 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執行

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數字校正功能，實現設定點精度

全流量范圍快速響應：1秒內完成全量程

配備多氣體/多量程功能，

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。

在整個流量范圍內（上升、下降、設定值到設定值）響應時間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)

兼容環境溫度范圍廣（15-60℃）

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應

實現了高生產率并提高了工藝性能。

減少批量生產穩健的 CIP 壓力傳感器的停機時間和工時，實現  

PFA 噴嘴的閥門關閉性能和耐磨性提高了 10 倍以上

，從而減少了停機時間并優化了產量。

狀態監控功能

提供更多內部數據并實現更智能的故障預測。